
设备优势
选用皮秒激光器,订制对焦头,对焦光线孔径小到3μm,激光切割道只需10μm,割缝窄,更多的是处理芯片出菲林率,无热电效应,对芯片电路无损伤;
片区速率达到500mm/s,针对薄厚1mm里的试品,激光器画线只需一次就可以断裂;
CCD视觉效果预扫描仪全自动抓靶精准定位完成较大生产加工范畴650mm×450mm,XY服务平台拼凑精密度≤±3μm;
完成无光洁度激光切割,最少爆边3μm,边沿光洁;
适用多种多样视觉定位特点,如十字、实心圆、空心圆、L型直角边、影像特征点等;
AOI视觉检测系统可选装,节约后面现场采样,碎片可选择超音波或机械设备碎片,高精度;
12年激光器细微生产加工系统软件研发设计技术性积累保证性能稳定,2万个小时无耗品;
机械臂全自动上下料系统软件,节约人工成本。
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